半导体
集成电路工艺
晶圆厚度/薄膜厚度/应力测量

全自动膜厚测试仪

NanoSpec II

硅片平坦度量测仪

FLA-200

桌上型膜厚分析系统

TohoSpec 3100

桌上型手动双气压探頭厚度/TTV测量仪

UMM-BP2

光谱反射仪

FilmTek 1000

光谱透反射仪

FilmTek 1500

高分辨率微区光谱折射率测试仪

FilmTek™ 4000

桌上型手动晶圆厚度测量系统

UltraMap-BP1